Эдуард Иванович Точицкий (1935, Минск - 2007) - ученый в области материаловедения в машиностроении и в микроэлектронике, физике и технологии тонких пленок и покрытий. Член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (1994), доктор технических наук (1974), профессор (1981).
Окончил Белгосуниверситет (1959). В 1959-1976 гг. младший научный сотрудник, старший инженер, главный инженер, старший научный сотрудник, заведующий лабораторией Физико-технического института, в 1976-1990 гг. заведующий лабораторией Института электроники, с 1990 г. директор Инженерного центра "Плазмотег" Национальной АН Беларуси.
Научные работы посвящены исследованиям реальной структуры тонких пленок, явлений эпитаксии, кинетики и термодинамики фазообразования при вакуумной конденсации тонких пленок и покрытий. Создал теорию кинетики зарождения и роста покрытий в условиях как стационарного, так и импульсного осаждения, установил влияние размерных эффектов на структурные и фазовые превращения в тонкопленочных системах, зависимость физических свойств и кристаллографической структуры пленок от условий кристаллизации и последующей термообработки. Разработал научные основы нового направления в материаловедении для микроэлектроники: формирование в вакууме элементов сверхбольших интегральных схем (СБИС), защитных и пассивирующих покрытий из импульсных потоков ускоренной плазмы; сформулировал принципы реализации метастабильных состояний в пленках и тонкопленочных системах, экспериментально получил алмазные и алмазоподобные углеродные пленки при низких температурах на подложках из различных материалов. Создал концепцию "сухой" ультрафиолетовой лазерной проекционной микролитографии, на ее основе разработал новую прогрессивную технологию изготовления СБИС в едином технологическом цикле. Известен как ученый в области ключевых процессов наукоемкого, нематериалоемкого современного машиностроения, повышения долговечности и надежности машин и механизмов методом нанесения упрочняющих, износостойких, теплозащитных и коррозионно-стойких покрытий на детали машин и механизмов. Разработал уникальную технологию и промышленное оборудование, создал ускорители импульсной катодно-дуговой эрозионной плазмы, позволяющие получать наноразмерные материалы и с высокой точностью наносить многослойные и многокомпонентные покрытия заданного состава и толщины, а также синтезировать ранее неизвестные материалы при программируемом смешивании в любых пропорциях и сочетаниях плазменных потоков веществ, которые в равновесных условиях взаимно не растворяются и не реагируют. В последние годы развивает в Беларуси новые научные направления: микромеханические системы и наноэлектронику.
Автор более 370 научных работ, в том числе 3 монографий, 70 изобретений и патентов.
Основные труды:
1. Структура тонких металлических пленок. Мн., 1968 (с В.П. Северденко).
2. Кристаллизация и термообработка тонких пленок. Мн., 1976.
3. Use of low energy ion assistance for modification of diamond like carbon films conductivity (совм. с N.M. Checan, V.T. Svirin, I.V. Gasencova) // Vacuum. 2000. Vol. 58, № 1.
